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GPC-102 A是一款台式紧凑型等离子清洗机,具有体积仅为台式烤箱大小、非破坏性的纳米级清洗的特点,是一款特别适合实验室、超净间及研发机构的理想等离子清洗设备。等离子清洗机采用工艺气体如大气、氩气、氮气、氧气或氦气等作为清洗气体介质,有效避免了因液体清洗剂对

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圆筒型台式反应离子刻蚀(RIE)系统(蚀刻、等离子混合清洗、等离子清除浮渣、刻胶、去胶 、表面处理 、Etching、故障分析应用 、材料改性 )

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